深圳市中图仪器股份有限公司

SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉测量仪器可以提供更高精度的检测需求。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。  

产品功能

1）SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

结果组成：
1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪主要应用领域：
1、用于太阳能电池测量；
2、用于半导体晶圆测量；
3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；
4、用于机械部件的计量；
5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。